[17a-B2-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

11:15 〜 11:30

[17a-B2-9] 結晶方位分布を考慮した機械学習による結晶欠陥発生予測

〇(M2)鳥居 和馬¹、原 京花¹、沓掛 健太朗^1,2,3、工藤 博章⁴、勝部 涼司¹、宇佐美 徳隆^1,2,5 (1.名大院工、2.名大未来研、3.理研 AIP、4.名大院情、5.名大未来機構)

キーワード：

多結晶シリコン、転位クラスター、機械学習