講演情報
[17a-B4-3]AFMを用いた高精度な流体のすべり計測手法の開発
〇石田 遥也1、手嶋 秀彰1、李 秦宜1、高橋 厚史1 (1.九州大学)
キーワード:
原子間力顕微鏡、流体のすべり
マイクロ、ナノスケール流体デバイスの性能向上には「流体がよくすべる表面」の実現が望まれるが、実験の精度が低く、流体のすべりの原理はほとんど解明されていない。本研究では、AFMを用いたすべり計測における既存の解析手法の誤差を指摘し、新しい解析手法「二変数法」を提案する。新手法は既存手法と比較して誤差を1桁減らすことに成功した。
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