[17a-C301-1~10] 6.4 薄膜新材料

10:00 〜 10:15

[17a-C301-5] 水素感応層を有する光学キャビティセンサにおける水素応答

〇山根 治起¹、梁瀬 智¹、高橋 幸希²、世古 暢哉²、重村 幸治² (1.秋田産技センター、2.Tianma Japan)

キーワード：

センサ、水素、光学薄膜

水素感応を有する光学積層膜(キャビティセンサ)の水素応答について、放射光計測を用いて調査した。光学キャビティ水素センサは、[水素感応層/光干渉層/ハーフミラー]/透明基板を基本構造として、水素感応層の水素反応にともなう光学特性の変化を、計測光を基板裏面から照射して検知する。本研究では、[Pt/PdCuSi/PdAu]で構成された水素感応層について、水素雰囲気下での結晶構造および化学結合状態について評価した。その結果、水素暴露によって、PdAu膜が異方的な格子膨張を示すとともに、PtおよびPdCuSiは、それぞれ、表面触媒層および水素透過層として機能することを確認した。