[17a-C301-1~10] 6.4 薄膜新材料

10:15 〜 10:30

[17a-C301-6] MgH₂薄膜の高品質化をもたらすラジカル水素供給条件の検討

〇(M2)下萬 祐暉¹、宗房 幸太¹、磯田 洋介²、間嶋 拓也³、菅 大介²、原田 尚之⁴、大口 裕之¹ (1.芝浦工大理工、2.京大化研、3.京大院工、4.物材機構)

キーワード：

水素化物、赤外レーザー蒸着法、水素化マグネシウム

金属水素化物は高温超伝導やヒドリド伝導などの水素に由来する物性を示し得る機能性材料である。その潜在性を引き出すため、我々はこれまで、独自のラジカル水素反応性赤外レーザー蒸着法を用いて金属水素化物薄膜を合成してきた。本研究では、我々の過去の研究では金属析出が顕著であり、また結晶性の低かったMgH₂薄膜に対して、成膜時のラジカル水素供給量を変化させることで薄膜の高品質化を目指した。