[17a-C41-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

9:30 〜 10:00

[17a-C41-1] [第22回プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 中圧低温プラズマスパッタリングによるSi/Snナノワイヤー膜のシングルステップ堆積と高容量Liイオン電池の安定駆動

〇内田 儀一郎¹、益本 幸泰¹、榊原 幹人¹、池邊 由美子¹、小野 晋次郎²、古閑 一憲²、小澤 隆弘³ (1.名城大理工、2.九州大院シス情、3.大阪大接合研)

キーワード：

プラズマ材料プロセス、Liイオン電池負極、半導体ナノ材料