セッション詳細
[17a-C41-1~2]8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演
2024年9月17日(火) 9:30 〜 10:30
C41 (ホテル日航新潟 4F)
古閑 一憲(九大)
[17a-C41-1][第22回プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 中圧低温プラズマスパッタリングによるSi/Snナノワイヤー膜のシングルステップ堆積と高容量Liイオン電池の安定駆動
〇内田 儀一郎1、益本 幸泰1、榊原 幹人1、池邊 由美子1、小野 晋次郎2、古閑 一憲2、小澤 隆弘3 (1.名城大理工、2.九州大院シス情、3.大阪大接合研)
[17a-C41-2][第22回プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 成膜プロセスにおける大規模パターンでのカバレッジおよび膜質分布の予測
〇久保井 信行1 (1.ソニー)