[17a-C43-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

11:30 〜 11:45

[17a-C43-8] 3次元光配線に向けたマイクロレンズ構造の試作

〇(M1)菊地 奎人^1,2、板谷 太郎²、天野 健²、岡野 好伸¹ (1.東京都市総合理工、2.産総研)

キーワード：

光実装、マイクロ、レンズ

電気素子と光素子を同一基板上に実装する光実装分野では、集積回路からのシリコン系光導波路と、光ファイバーとの接続のためのポリマー光導波路を3次元で結合する必要がある。しかし、結合するシリコン系光導波路とポリマー光導波路の寸法が1桁違う事や設置する高さが異なるため、直接的な結合は困難である。今回我々は、シリコン系光導波路に近接して設置するマイクロレンズを、半導体の異方性エッチングを利用して形成した。