[17a-D63-1~6] 7.2 電子ビーム応用

10:30 〜 10:45

[17a-D63-3] Graphene/h-BN/Ni-Sapphire構造を有する平面型電子源作製プロセスの開発

〇(M2)六川 蓮^1,3、鷹尾 祥典¹、山本 将也^2,3、根尾 陽一郎²、村田 博雅³、長尾 昌善³、村上 勝久³ (1.横国大、2.静岡大、3.産総研)

キーワード：

Graphene/h-BN/Ni-Sapphire構造、六方晶窒化ホウ素、グラフェン