2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[17a-P01-46]流路分離式化学気相蒸着装置を用いたTaS2連続膜の合成

〇江橋 美羽1、柳瀬 隆1 (1.東邦大理)

キーワード：

化学気相蒸着、TaS2

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