[17a-P01-1~66] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[17a-P01-58] MoTe₂縦型伝導素子における電極材料の影響

〇熊谷 直紀¹、杉野 温貴¹、宇澤 拳太郎¹、筒井 博隆¹、岩﨑 拓哉²、中払 周³、塚越 隆行⁴、小松 克伊⁴、大坊 忠臣⁴、森山 悟士¹ (1.東京電機大、2.物材機構、3.東京工科大、4.キオクシア)

キーワード：

二次元半導体、二硫化モリブデン

Mo（モリブデン）およびW（タングステン）から構成されるTMDCは、電子物性が大きく異なる複数の単層結晶構造を持つという、グラフェンには存在しない特徴を有し、相変化メモリなどの応用可能性が期待されている。今回我々は、相変化の電気的制御を目指し、様々な電極材料を用いて膜厚の異なるMoTe₂を挟み込んだ構造を作製した。本講演では、その縦型伝導素子の電気伝導特性を評価し、その結果を報告する。