[17p-B3-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

13:00 〜 13:15奨励賞エントリー

[17p-B3-1] 水熱法で作製した自己分極(001)配向エピタキシャル(Bi,K)TiO₃-PbTiO₃膜の結晶構造及び強誘電特性

〇(D)胡 雨弦¹、村下 太一¹、岡本 一輝¹、舟窪 浩¹ (1.東工大物院)

キーワード：

強誘電体、薄膜、低温溶液合成法

正方晶ペロブスカイト型構造を持つ強誘電体は、基礎研究はもちろん、実際のデバイス応用においても広く研究されてきた。我々は水熱法を用いて200 ºCで高品質のBKT膜の作製に成功した。本研究では、水熱法により同じ正方晶構造で高い相転移温度を持つPbTiO₃(PT)との固溶体のBKT-PTエピタキシャル膜を作製した。全組成範囲で自己分極した分極軸の(001)方向に配向した正方晶のエピタキシャル膜が作製できた。すべての組成範囲で70-90 μC/cm²の高い残留分極値を有した角型のヒステリシスが得られた。さらに、全ての膜では50-120の比較的低い比誘電率が得られた。