[17p-B3-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[17p-B3-5] 誘電率ε^Tとε^Sの差を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k₃₃²の抽出

〇(M2)内田 拓希^1,2、浴田 航平^1,2、島野 耀康^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大先進理工、2.材研技術研究所)

キーワード：

電気機械結合係数、BAWフィルタ、誘電率

圧電デバイスでは、電気機械結合係数k_t²は重要な指標である。k_t²の評価では、一般的に、自立薄膜構造が用いられる。一方、基板が付いた状態の薄膜共振子での電気機械結合係数k_t²の評価法も多数報告されている。
本報告では、基板を除去することなく、電気機械結合係数k₃₃²を測定する新手法を提案する。本手法では、RLC電気共振を利用し、k₃₃²を抽出する。