[17p-B4-1~20] CS.10 6.6 プローブ顕微鏡、12.2 評価・基礎物性のコードシェア

15:30 〜 15:45

[17p-B4-10] 液中AFMによる半導体ウェーハ絶縁膜表面の吸着力計測

〇岡 大輝¹、浅野 吉彦¹、五十嵐 陽彦¹、松元 亨介¹、宮田 一輝¹、宇野 恵²、高東 智佳子²、福間 剛士¹ (1.金沢大、2.荏原製作所)

キーワード：

半導体ウェーハ、液中AFM、吸着力計測