[17p-C31-1~20] 12.7 医用工学・バイオチップ

17:45 〜 18:00

[17p-C31-17] 3次元応力イメージセンサの感度向上に向けた構造体形状の検討

〇伊藤 大真¹、大平 瑞季¹、土井 英生¹、村上 健介¹、小笠原 健²、清水 聡²、堀尾 智子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大、2.ダイキンファインテック株式会社)

キーワード：

3次元応力イメージセンサ、構造体、剪断応力

3次元応力イメージセンサ上に製作した構造体の面積と高さの比率を変更することでせん断力に対する感度向上を目指した形状検討を行った。従来構造である面積8×8µm、高さ6µmから面積6×6µm、高さ10µmに変更した結果、センサ応答が約5倍向上した。また、高さを10µmに増加すると感度が0.085mV/µNから0.19mV/µNに向上することを確認した。構造体面積が小さく、高さが高い形状がせん断力に対するセンサ感度の向上に必要であることを実証した。