[17p-C31-1~20] 12.7 医用工学・バイオチップ

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[17p-C31-3] 櫛型電極を用いた広帯域湿度センサの作製と評価

〇加藤 勇志¹、桂井 亮介²、杜 邦¹、木野 久志³、福島 誉史^1,2、田中 徹^1,2 (1.東北大院工、2.東北大院医工、3.九州大院シス情)

キーワード：

湿度センサ、半導体

2045年には世界の糖尿病有病者数が約7億8,320万人に増加すると予測されている。糖尿病の発見の遅れが課題となる中、非侵襲で小型化が可能なMHC法を用いた血糖測定器が注目されており、これは多種多様な小型センサを必要とする。本研究では、電極を櫛型に配置し、吸湿性に優れた高分子材料をコーティングすることにより、広帯域湿度センシングを可能にした静電容量式湿度センサを開発した。講演ではその電気特性評価結果を詳述する。