講演情報
[17p-C41-5]大口径基板接合に向けた高速原子ビーム源
〇秦 誠一1 (1.名大院)
キーワード：
表面活性化接合、高速原子ビーム源、大口径ウエハ
高機能ウエハの接合技術としてFABによる表面活性化接合が使用されている．大面積に対して均一にFABを照射するためには，照射口形状やその分布の変更や，FAB源の複数台の設置およびFABの走査などの工夫がなされている．本講演ではプラズマシミュレーションを利用し設計した新しい形態のFAB源や照射口付近の電極構造変更により，大面積に対して均一なFAB照射を行う試みについて紹介する．
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