[17p-C43-1~17] 1.6 超音波

15:30 〜 15:45

[17p-C43-10] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるScAlN薄膜の評価

〇大橋 雄二¹、櫛引 淳一¹、戸津 健太郎¹、花井 彩香²、勝又 彩馨²、柳谷 隆彦²、竹野 広晃³、伊東 孝洋³ (1.東北大、2.早稲田大、3.GEOMATEC)

キーワード：

圧電薄膜、漏洩弾性表面波速度