[17p-C43-1~17] 1.6 超音波

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[17p-C43-15] LiNbO₃/SiO₂/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波特性の解析

〇武居 諒¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、山本 泰司² (1.山梨大、2.山本エイデック)

キーワード：

弾性表面波、異種材料接合

本報告では，X50°Y-LN/SiO₂/4H-SiC上のLLSAW特性を解析した結果について報告する．位相速度，結合係数K²は，SiO₂中間層を設けることにより，変化がLN板厚の薄い方へシフトした．どの規格化SiO₂膜厚h_a/λでもh_Al/λ=0.08，h/λ=0.40において比帯域幅は最大値を示し，h_a/λ=0.03で10％の比帯域幅，90dBのアドミタンス比，スプリアスの小さな共振特性を示した．X50°Y-LN/4H-SiCに比べTCFは改善したが，薄いSiO₂膜厚ではLNの温度補償は難しいことがわかった．