[17p-C43-1~17] 1.6 超音波

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[17p-C43-7] 高繰返しエキシマレーザ用吸音材の吸音率シミュレーションの開発

〇小川 拓也¹、佐々木 陽一¹、田中 誠¹、堀 司¹、柿崎 弘司¹、山本 崇史² (1.ギガフォトン（株）、2.工学院大学)

キーワード：

放電音、吸音材

放電励起エキシマレーザは、半導体露光装置の光源として使用されており、繰り返し周波数 6kHz を超える高繰返し化が要求されている。その際に放電により発せられた放電音（60kHz）は、チャンバー内の壁面で反射しレーザ発振領域に再到達することが問題となる。本研究では、可聴領域で使用されている吸音率シミュレーションを 60kHz の高周波領域に応用し、その妥当性を検証した。