[17p-C43-1~17] 1.6 超音波

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[17p-C43-9] 超音波パルスエコー法を用いたScAlN、AlN、ZnO膜の機械的Q_m値評価手法

〇(M2)島野 耀康^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大先進理工、2.材料技術研究所)

キーワード：

機械的Q値、BAW、ScAlN

無線バンドが密集する帯域においてRFフィルタの急峻性を示すQ値は重要な評価指標の一つである。本研究では材料自体のIntrinsicな機械的品質係数Q_mを評価する方法を提案する。基板付き薄膜共振子(HBAR)構造において基板裏面に被測定材料を作製し、基板底面および被測定材料底面から反射する音波を比較することによって減衰定数を見積る。本報告では、産業的な需要も高いSc_0.4Al_0.6N、Sc_0.2Al_0.8N、純AlNとZnO膜のQ_m値を評価した。