[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

13:00 〜 13:15

[17p-D63-1] ADF STEM法を用いた結晶表面の精密原子間距離計測技術の構築

〇小林 俊介¹、小井沼 厳¹、大江 耕介¹、仲山 啓¹、穴田 智史¹、桑原 彰秀¹ (1.JFCC)

キーワード：

走査透過電子顕微鏡法、表面、原子位置計測

多くの機能性材料において局所領域の僅かな原子配列がと物性が密接に関係し、表面や界面などの局所領域での原子配列変化の計測において走査透過電子顕微鏡法（STEM）は極めて有効な手法である。本研究では、単純な金属であるプラチナ(Pt)表面をモデルサンプルとしてSTEM法における表面での原子変位計測精度の検証を実施した。Ptの(111)表面は理論計算モデルから僅か数pmほど原子間距離が膨張することが予測されている。この局所領域における数pmの原子変位計測を実現させるため、像取得条件などを最適化や像シミュレーションを通してサブピコメートルスケールでの精度を保証することで、これまで実空間では計測が困難であったPt表面の構造緩和を明らかにすることに成功した。