セッション詳細
[17p-D63-1~16]7.2 電子ビーム応用
2024年9月17日(火) 13:00 〜 17:15
D63 (万代島ビル)
村上 勝久(産総研)、 橘田 晃宜(産総研)、 森下 英郎(日立)
[17p-D63-5]レーザー励起光電子顕微鏡による電子線レジストの高速潜像イメージング
〇藤原 弘和1,2,3、Bareille Cédric1、大川 万里生1、谷内 敏之2,3 (1.東大物性研、2.東大院新領域、3.東大MIRC)
[17p-D63-6]超高速時間分解SEMを用いた光伝導アンテナの局所電位の可視化
〇(M1)岡本 ニコライ 岳1、嵐田 雄介1、川﨑 康平1、羽田 真毅1、吉田 昭二1、鄭 サムエル1、赤田 圭史1,2、藤田 淳一1 (1.筑波大数理、2.JASRI)
[17p-D63-7]SOIピクセル検出器を用いた単電子検出による電子線干渉実験
〇石田 裕一1、石田 高史1,2、桑原 真人1,2、新井 康夫3、齋藤 晃1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.KEK)
[17p-D63-8]SOI技術を用いた高速撮影可能なダイレクト電子検出器の開発
〇石田 高史1,2、石田 裕一2、桑原 真人1,2、新井 康夫3、齋藤 晃1,2 (1.名大未来研、2.名大院工、3.KEK)
[17p-D63-10]フィールド・エミッタ・アレイにおけるチップの軸ズレが電子ビームに与える影響
〇村田 英一1、川﨑 祐輔1、鈴木 悠斗1、田中 崇之1、六田 英治1 (1.名城大理工)
[17p-D63-11]TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイのその場観察および放出電流の評価
〇川崎 祐輔1、村田 英一1、村田 博雅2、長尾 昌善2 (1.名城大理工、2.産総研)
[17p-D63-16]Ga-In液体金属の気化熱によるジュール熱補償電界放射陰極
〇(M1)佐藤 宏樹1,2、根尾 陽一郎1,2、文 宗絃1,2、小田 陸人1,2 (1.静岡大院工、2.静岡大電研)