セッション詳細

[17p-D63-1~16]7.2 電子ビーム応用

2024年9月17日(火) 13:00 〜 17:15
D63 (万代島ビル)
村上 勝久(産総研)、 橘田 晃宜(産総研)、 森下 英郎(日立)

[17p-D63-1]ADF STEM法を用いた結晶表面の精密原子間距離計測技術の構築

〇小林 俊介1、小井沼 厳1、大江 耕介1、仲山 啓1、穴田 智史1、桑原 彰秀1 (1.JFCC)
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[17p-D63-2]円形絞りを用いた電子ビーム空間干渉性の定量計測

〇山崎 順1,2、畑中 修平1 (1.阪大電顕セ、2.名大未来研)
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[17p-D63-3]電子ビームのWigner関数再構成と軸上輝度式の導出

〇(D)畑中 修平1,2、山﨑 順1,3 (1.阪大電顕セ、2.阪大院工、3.名大未来研)
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[17p-D63-4]走査電子顕微鏡の電子ビームサイズ推定用試料の提案

戸倉 大智1、曽雌 侑輝1、〇早田 康成1 (1.筑波大学)
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[17p-D63-5]レーザー励起光電子顕微鏡による電子線レジストの高速潜像イメージング

〇藤原 弘和1,2,3、Bareille Cédric1、大川 万里生1、谷内 敏之2,3 (1.東大物性研、2.東大院新領域、3.東大MIRC)
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[17p-D63-6]超高速時間分解SEMを用いた光伝導アンテナの局所電位の可視化

〇(M1)岡本 ニコライ 岳1、嵐田 雄介1、川﨑 康平1、羽田 真毅1、吉田 昭二1、鄭 サムエル1、赤田 圭史1,2、藤田 淳一1 (1.筑波大数理、2.JASRI)
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[17p-D63-7]SOIピクセル検出器を用いた単電子検出による電子線干渉実験

〇石田 裕一1、石田 高史1,2、桑原 真人1,2、新井 康夫3、齋藤 晃1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.KEK)
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[17p-D63-8]SOI技術を用いた高速撮影可能なダイレクト電子検出器の開発

〇石田 高史1,2、石田 裕一2、桑原 真人1,2、新井 康夫3、齋藤 晃1,2 (1.名大未来研、2.名大院工、3.KEK)
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[17p-D63-9]球面電子源のクーロン効果シミュレーション

姫田 幸毅1、〇早田 康成1 (1.筑波大学)
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[17p-D63-10]フィールド・エミッタ・アレイにおけるチップの軸ズレが電子ビームに与える影響

〇村田 英一1、川﨑 祐輔1、鈴木 悠斗1、田中 崇之1、六田 英治1 (1.名城大理工)
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[17p-D63-11]TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイのその場観察および放出電流の評価

〇川崎 祐輔1、村田 英一1、村田 博雅2、長尾 昌善2 (1.名城大理工、2.産総研)
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[17p-D63-12]Siエミッタ上へのTiNスパッタリング成膜条件の調査

〇村田 博雅1、村上 勝久1、長尾 昌善1 (1.産総研)
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[17p-D63-13]CeB6単結晶表面の熱酸化に伴う化学状態変化

〇鶴田 諒平1、柳 俊輔1、荒井 元哉1、大場 宏祐1、佐々木 正洋1、山田 洋一1 (1.筑波大数理)
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[17p-D63-14]表面酸化六ホウ化セリウム電界放出電子源の放出電流評価

〇柳 俊輔1、鶴田 諒平1、荒井 元哉1、大場 宏祐1、佐々木 正洋1、山田 洋一1 (1.筑波大数理)
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[17p-D63-15]電界誘起酸素エッチングによって先鋭化されたW電界放出陰極のエネルギー分布

〇志摩 惇紀1、岩田 達夫1、永井 滋一1 (1.三重大院工)
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[17p-D63-16]Ga-In液体金属の気化熱によるジュール熱補償電界放射陰極

〇(M1)佐藤 宏樹1,2、根尾 陽一郎1,2、文 宗絃1,2、小田 陸人1,2 (1.静岡大院工、2.静岡大電研)
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