[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[17p-D63-6] 超高速時間分解SEMを用いた光伝導アンテナの局所電位の可視化

〇(M1)岡本 ニコライ 岳¹、嵐田 雄介¹、川﨑 康平¹、羽田 真毅¹、吉田 昭二¹、鄭 サムエル¹、赤田 圭史^1,2、藤田 淳一¹ (1.筑波大数理、2.JASRI)

キーワード：

走査電子顕微鏡、超高速現象、光伝導アンテナ

走査電子顕微鏡とパルスレーザーを組み合わせることで、光伝導アンテナの表面電位ダイナミクスを時間分解測定する技術を開発した。GaAs半導体を用いた光伝導アンテナに励起パルスを照射し、ポンププローブ法によって光照射後の表面電位変化を43 psの時間分解能で観測した。微細・高速な電子デバイスを直接的に評価・計測できる新しい観察技術につながると期待される。