[17p-P01-1~16] 6.4 薄膜新材料

[17p-P01-12] A15 構造を持つタングステンタンタル(W-Ta)及び タングステンレニウム(W-Re)薄膜の形成

〇安田 雄一¹、Lee Heun Tae¹ (1.阪大工)

キーワード：

薄膜、タングステン、タンタル

A15構造を持つW₃Ta相は巨大なスピンホール効果を示す計算結果が報告されており、スピントロニクスデバイスの候補材として有望視されている。しかしながら、A15構造を持つW₃Ta材料の創生は報告されていない。本研究ではTa（Re）添加がA15構造を持つW相の構造に与える影響を調べた。Ta/W比率が0.05まで増加すると、構造がA15からbccに変化した。一方、Re/W比率に関しては0.12まで増加してもA15相構造が維持された。