講演情報

[17p-P03-10]フッ素フリーMOD法を用いたGdBCO薄膜作製におけるMOD溶液の状態依存性

〇山本 涼介1、喜多 隆介2、武田 正典1 (1.静大院総合、2.静大イノベ)
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キーワード:

超伝導、GdBCO、有機金属塗布法

有有機金属塗布法(MOD法)は,ナノ構造制御や磁場中特性ではPLD法より劣るが,非真空プロセスで設備コストが安いこと,大面積基板上に原料を塗布・熱処理する比較的簡易な方法であるため,量産化に適したプロセスとして期待されている.本研究で使用したFF-MOD法の前躯体溶液は時間の経過とともに硬化するという問題点があるため,我々はFF-MOD法の溶液の経時変化に関する研究を行なった.

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