2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[17p-P03-7]超伝導量子ビット応用に向けた立方晶系Al/AlN/Al/TiNのヘテロエピタキシャル成長

〇山口 淳一1、林 賢二郎1、近藤 大雄1、土肥 義康1、佐藤 信太郎1 (1.富士通)

キーワード：

超伝導、ジョセフソン接合、エピタキシャル成長

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