[17p-P05-1~1] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[17p-P05-1] 基板位置合わせのための簡易治具の開発および治具の位置合わせ精度の評価

〇三浦 篤志¹、舟山 啓太¹、後藤 智¹、奥田 勝治¹、田中 宏哉¹ (1.豊田中研)

キーワード：

基板接合、位置合わせ、簡易治具

微細加工は集積回路やセンサなどの製造工程で広く応用されており、産業上欠かせない技術である。微細加工技術の代表例として、フォトリソ グラフィが挙げられる。リソグラフィ技術で複雑なパターンを作製する場合、複数回の露光・転写が必要となるため、ウエハとマスク/モールドとの正 確な位置合わせが必要となる。今回、我々は市販のxyz回転軸ステージと2台のCCDカメラを用いて、基板の位置合わせのための簡易かつ小型 な治具を作製した。また、作製した治具を用いて2枚の基板の位置合わせを行い、各基板の端部のずれから中心位置のずれを計算することで、 治具の位置合わせの精度を評価した。