[17p-P07-1~23] 13.8 光物性・発光デバイス

[17p-P07-4] アニール雰囲気によるEu添加AlN薄膜中のEuイオンの局所構造変化と発光への影響

〇(M2)宮野 和人¹、千 英達¹、村山 真理子^1,2、加來 慎一郎¹、趙 新為¹ (1.東理大理、2.東洋大工技研)

キーワード：

半導体、希土類元素

我々は1枚の薄膜のみで白色発光を可能とするAlN:Eu薄膜の開発を目標とした。母材であるAlNは欠陥由来の青色発光を示し、Eu²⁺はブロードな緑色発光を、Eu³⁺はシャープな赤色発光を示す。Euの価数は隣接原子の種類によって変化することが先行研究で報告されている。本研究ではAlN:Eu薄膜の白色発光に向け、アニールの雰囲気を変化させることで、Euイオンの局所構造と発光の制御を試みた。