[18a-A22-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

12:00 〜 12:15

[18a-A22-12] Cu/CuO混合ターゲットを用いたDCスパッタによるCu₂O膜の光学的及び電気的特性の評価

〇関口 晨雄¹、宮島 晋介¹ (1.東工大)

キーワード：

Cu2O太陽電池、DCスパッタ、混合ターゲット