[18a-A25-1~11] 3.6 レーザープロセシング

9:15 〜 9:30

[18a-A25-2] シリコンの励起過程における欠陥の影響

〇乙部 智仁¹ (1.QST関西研)

キーワード：

レーザー加工、欠陥、第一原理計算

レーザー加工シミュレーションは完全な結晶を対象にしたものがほとんどであり、欠陥の影響を非線形領域に渡り評価した例はない。本研究では第一原理シミュレーションコード「SALMON」を用いてシリコン中の点欠陥による線形及び非線形光吸収過程の計算を行い、欠陥が作る色中心などの影響を調べた。