[18a-A25-1~11] 3.6 レーザープロセシング

9:30 〜 9:45注目講演

[18a-A25-3] 誘電体ガラス基板の深紫外ナノ秒パルスレーザー加工における時間分解複素振幅イメージング

〇川野 将太郎¹、戸田 圭一郎¹、櫻井 治之¹、小西 邦昭¹、井手口 拓郎¹ (1.東大院理)

キーワード：

ナノ秒パルスレーザー加工、時間分解複素振幅イメージング

高強度ナノ秒パルスレーザー加工の時間分解複素振幅イメージングは、加工中の形状変化を伴わない熱や構造変化のプロセスを直接観測できる可能性を有している。本研究では、単一光子吸収による加工を実現できる誘電体材料と加工パルス光の組み合わせを選択し、加工パルス光源に電気的に同期したプローブパルス光の時間遅延を制御することで、ナノ秒からサブミリ秒の時間領域における時間分解複素透過率像を観測した結果を報告する。