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[18a-A25-4]Nd:YAGレーザーのナノ秒パルス,ロングパルスを用いた穴開け加工に対するプラズマ遮蔽の影響の観察

〇辻 剛志1、山田 一葵1、中村 大輔2 (1.島根大総理工、2.九大工)
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キーワード:

レーザー穴開け、プラズマ遮蔽

以前の研究で汎用Nd:YAGレーザーのロングパルスを用いると,ナノ秒パルスよりも金属箔穴開け加工の効率が大幅に向上することを見いだした。また,その要因として,ロングパルスではナノ秒パルスに比べてプラズマ遮蔽の影響が小さいことを推定した。今回は,プラズマ遮蔽の観測を行った結果を報告する。

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