[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[18a-A31-10] プラズマ形成金属ナノ構造が金属樹脂間接合特性に与える影響

〇安田 怜央¹、中村 航己¹、太田 雅斗¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：

ナノ構造、接合、樹脂

金属表面のナノ構造は、表面積の増大による高効率な触媒や反応性の向上による接合への適用など様々な応用が期待される。我々はこれまで圧力100Torr近傍で生成されるHe混合高密度水素プラズマを銀表面に曝露することで、直径数十nm以下のナノファズやナノ細孔が形成されることを報告してきた。今回は、この銀表面ナノ構造を、ポリプロピレンなどの難接着樹脂との異種材接合へ適用し、表面構造と接合特性の相関を調べた。