セッション詳細

[18a-A31-1~11]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2024年9月18日(水) 9:00 〜 12:00
A31 (朱鷺メッセ3F)
荻野 明久(静大)

[18a-A31-1]反応性スパッタリングによるナノ構造SnO2負極膜の作製とLiイオン電池への展開

〇長谷川 祥之1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、藤掛 大貴1、村瀬 瑠汰1、山崎 稜介1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[18a-A31-2]反応性スパッタリングプロセス中に発生するプラズマ発光による 成長中の酸化鉄薄膜の価数及び成膜速度予測

〇南 麟太朗1、喜多 英治1、柳原 英人1 (1.筑波大)
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[18a-A31-3]Liイオン電池応用に向けた固体電解質LiLaZrO薄膜のイオン伝導率の評価

〇村瀬 瑠汰1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、長谷川 祥之1、藤掛 大貴1、山崎 稜介1、丹羽 亮斗1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[18a-A31-4]固体電解質LiAlGePON薄膜の開発とLiイオン電池Ge負極へのキャップ効果の検証

〇藤掛 大貴1、大前 知輝1、上田 竜雄1、寺田 圭吾1、長谷川 祥之1、村瀬 瑠汰1、山崎 稜介1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[18a-A31-5]Liイオン電池性能におけるSi/C粒子混合負極へのLiPON膜カバーの効果

〇寺田 圭吾1、石原 雅之1、上田 竜雄1、長谷川 祥之1、藤掛 大貴1、村瀬 瑠汰1、山崎 稜介1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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[18a-A31-6]EBEP CVD法を用いたBN膜形成における基板種の影響

〇針谷 達1、井上 健一2、髙島 成剛1、上坂 裕之1、石川 健治2、堀 勝2 (1.岐阜大、2.名大低温プラズマ科学研究センター)
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[18a-A31-7]金属元素が立方晶窒化ホウ素膜中の遷移層形成に及ぼす影響に関する研究

〇岡田 晟良1、朝本 雄也1、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.新港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター)
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[18a-A31-8]AlCrN膜形成用真空アーク蒸着における陰極点円軌道運動の速度制御

〇大根田 みらの1、渡辺 聖也1、佐野 絃貴1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))
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[18a-A31-9]液中プラズマ表面改質と電界配向を用いた組織構造制御による金属クラスの熱伝導性とエラストマークラスの柔軟性を併せもった複合材料の開発

〇(M2)長谷川 瑠偉1,2、井上 健一1,2、宗岡 均1、伊藤 剛仁1、桐原 和大2、清水 禎樹2、伯田 幸也2、伊藤 耕三1、寺嶋 和夫1,2 (1.東京大学、2.産総研オペランドOIL)
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[18a-A31-10]プラズマ形成金属ナノ構造が金属樹脂間接合特性に与える影響

〇安田 怜央1、中村 航己1、太田 雅斗1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)
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[18a-A31-11]異なるガスで生成したプラズマの同時照射による金属の親水化実験

〇櫻田 尚月1、白井 晶都1、大澤 泰樹1、八井田 朱音1、大久保 雄司2、佐藤 千明1、沖野 晃俊1 (1.東工大未来研、2.阪大工)
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