[18a-A32-1~10] KS.2 量子情報工学研究会

11:15 〜 11:30

[18a-A32-8] SiN エッチングマスクを用いたエアブリッジ型ダイヤモンドフォトニック結晶共振器の作製及び光学評価

〇JI SANGMIN¹、石田 悟己²、松清 秀次¹、西岡 政雄¹、飯嶋 航大²、岩本 敏^1,2 (1.東大生産研、2.東大先端研)

キーワード：

量子光インターフェス

ダイヤモンド中に作製した光ナノ共振器は、量子系（NV 中心など）におけるスピンと光子の相
互作用を増強し、高効率な光量子インターフェスを可能にする。しかしながら、その作製技術
の難易度が高く、これまでの報告は限られた海外グループによるものがほとんどであった。
我々は、より優れた量子系の特性を有する単結晶バルクダイヤモンド上で平坦な裏面形状を持
つエアブリッジ構造を作製可能な等方性エッチングを用い、国内では初めてエアブリッジ型フォ
トニック結晶共振器（PhC）の作製に成功した。今回さらに作製技術の改善を行うとともに、
共振器モードの観測に成功したので報告する。