[18a-B2-1~8] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

10:00 〜 10:15

[18a-B2-4] サブモノレイヤー積層法における、下地層変調による量子ディスクの作製

〇奥泉 陽斗¹、ロカ ロネル¹、神谷 格¹ (1.豊田工大)

キーワード：

量子構造、量子ディスク、サブモノレイヤー

近年我々は、サブモノレイヤー (SML) 積層法によりInAs/GaAs系の量子ディスク (QDisc)の形成が可能であることを見出してきた。本研究では、下地に量子ドットを埋め込み、更にスペーサー層の厚さ調整することでQDiscの形状制御を行った。AFM像から、GaAsスペーサー層が薄い程、表面上に分布する島状構造の幅が小さくなる傾向が判明し、QDiscのサイズ制御が示唆された。