[18a-B4-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

10:15 〜 10:30

[18a-B4-6] FIBを用いたノンギャップモードTERS探針の作製

〇廣澤 和典¹、張 開鋒²、原 正則¹、吉村 雅満¹ (1.豊田工大工、2.日立製作所)

キーワード：

探針増強ラマン分光法、収束イオンビーム、カーボン材料

機能性材料やデバイスの開発においては、サブミクロンやナノメートルレベルでの組成分析や不純物の同定など、非破壊かつ高分解能での構造評価が強く望まれており、そのための分析手法の一つとしてTERSが注目されている。従来のTERSでは金基板が必要であったが、本研究ではFIBを用いて探針先端を加工しノンギャップモードでも対応可能なTERS探針の開発に成功した。この探針を用いてSiO­₂基板上のGO単層膜の測定を行った。