2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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11:00 〜 11:15

[18a-B4-9]スキャナのフィードフォワードパラメタ調整の自動化の検討

〇宮下 和己1、渡邉 信嗣2 (1.金沢大・院数物、2.金沢大・WPI-NanoLSI)

キーワード：

フィードフォワード制御、走査型イオン伝導顕微鏡

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