講演情報

[18a-C41-6]シングルイベント効果の理解を目指した窓形成SiCダイオードへのフェムト秒レーザー照射

〇田岡 知樹1、牧野 高紘2、富田 卓朗1 (1.徳島大院創成、2.量研機構)

キーワード:

SiC、シングルイベント、超短パルスレーザー


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