[18a-C42-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:30 〜 11:45

[18a-C42-10] InGaN系赤色LEDの特性における下地超格子層の効果

〇奥野 浩司¹、五所野尾 浩一¹、大矢 昌輝¹ (1.豊田合成㈱)

キーワード：

赤色LED、InGaN、マイクロLED

我々は、p/n接合間にn型中間層を介して赤、緑、青色の活性層を持つエピタキシャル層を形成した後、メサ形成とp型層を再成長させてInGaN系モノリシック型フルカラーLEDの実証に成功した。モノリシック型フルカラーLEDディスプレィへの商業化にとって、高い発光効率を持つ赤色LEDの実現は重要である。今回、赤色の活性層の直下の超格子層ペア数がLED特性に与える影響について調査したので報告する。