2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18a-P06-14]ウエットエッチングによる酸化ガリウムのステップ形成

〇(M1)小野 諒子1、加藤 天音1、新海 聡子1 (1.九工大)
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キーワード：

酸化ガリウム、ウェットエッチング

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