[18a-P07-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-P07-6] 半極性GaInN活性層を有するナノコラムの発光バラつき改善

〇赤塚 泰斗¹、石沢 峻介¹、掛村 康人¹、両角 浩一¹、宮澤 弘¹、赤坂 康一郎¹、富樫 理恵²、岸野 克巳² (1.セイコーエプソン(株)、2.上智大ナノテク)

キーワード：

ナノコラム、ナノワイヤ、GaInN

GaInN系ナノコラムは、転位屈曲効果や歪み緩和効果と周期配列構造に起因する光取り出し効果により高効率な赤色発光が期待できる。一方で、意図しない結晶面の混在等により、ナノコラム間に発光バラつきが生じている。本研究では、活性層下地層を改善し、均一化な結晶面を形成した。また、均一な結晶面上に形成した活性層をカソードルミネッセンスで観測したところ、発光バラつきが劇的に改善していることが分かった。