講演情報
[18p-A21-5]反応性プラズマを用いた金属表面改質プロセスのその場インピーダンス分光計測
〇両角 潤樹1,2、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工、2.学振特別研究員DC)
キーワード：
その場インピーダンス分光法、金属表面酸化、プラズマ・材料表面相互作用
プラズマプロセス技術の発展には，プラズマとプロセス対象である固体材料との相互作用を理解することが不可欠である．本研究では，プラズマと固体表面状態を同時かつその場計測可能なインピーダンス分光法（in-situ IS法）を用いて，アルゴン/酸素プラズマによる金属表面酸化過程を捉える実験を行った．講演では，酸化層形成メカニズムや，サンプル近傍のプラズマ状態変化について議論する．
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