[18p-A22-1~21] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[18p-A22-13] ミスト化学気相堆積法で作製したNbドープTiO₂薄膜の膜構造と溶媒の関係

〇内藤 蓮人¹、吉田 真子¹、小野田 滉¹、有賀 恵美¹、中村 彩夏¹、簾 智仁²、中山 亮²、清水 亮太²、金子 健太郎³、佐藤 泰史⁴、一杉 太郎²、山田 直臣¹ (1.中部大院工、2.東大院理、3.立命館大学、4.岡山理大学理)

キーワード：

NbドープTiO2、水溶液