[18p-A24-1~13] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

15:00 〜 15:15

[18p-A24-6] 機械学習を用いた光ヘテロダイン光熱変位信号からのSiの熱拡散率とキャリア寿命の推定

〇浦野 翔大¹、原田 知季¹、沓掛 健太朗²、宇佐美 徳隆²、碇 哲雄¹、福山 敦彦¹ (1.宮崎大工、2.名大院工)

キーワード：

機械学習、シリコン

半導体の発熱抑制には熱物性の適切な理解が重要である。そこで、本研究では機械学習を用いて物性値を短時間で推定することを目的とする。機械学習モデルは全結合ニューラルネットワーク採用した。変位量の時間変化を入力として熱拡散率とキャリア寿命を推定した。その結果、キャリア寿命の一部範囲で予測誤差が増加したが、熱拡散率とキャリア寿命を高精度に推定出来た。また、推定に要する時間を約0.05秒にできた。