講演情報

[18p-A32-17]開放大気中におけるマイクロアレイ電極を用いた窒素大気圧プラズマの放電特性

〇(D)矢内 啓資1,2、谷口 文哉3、白藤 立1,3、呉 準席1,3 (1.大阪公立大工、2.旭ポリスライダー、3.大阪市大工)

キーワード:

プラズマ、放電、大気圧プラズマ

本実験では,ガス流路の下流側に設置した石英板を取り除くことでプラズマが大気中に流れるように装置の構造を変えた.周波数(5 kHz)とDuty比50%のバイポーラパルスを用いて放電電圧特性の評価を行った.複数回の放電を確認した結果,±3.0 kV前後で放電が開始され,最大±3.9 kVで直径50 mmの電極全面に均一な放電を確認することが出来た.学会にて放電電流特性,周波数・Duty比依存性など放電特性や温度や発光分光特性などを報告する.

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