[18p-A37-1~11] 17.2 グラフェン

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[18p-A37-4] Ar-H₂混合ガスを用いたCVD法によるAg箔上へのグラフェンCVD成長

〇(M1)岩谷 光¹、前田 文彦¹ (1.福工大工)

キーワード：

グラフェン、CVD成長、銀箔

これまでに、エタノールを用いたCVD法によるグラフェン成長の研究を開始し、これまで銀表面へのグラフェン成長が可能であることを示すとともに、銀の高い蒸気圧が高品質化を阻害していることを明らかにした。今回は、キャリアガスとしてAr水素混合ガスを用いることでグラフェン成長に水素添加が与える影響を検証した。その結果、水素の供給が銀表面を改質して蒸発を抑制したことを示唆しており、キャリアガスへの水素添加がグラフェンの高品質化に有効であることを示した。