[18p-B3-1~12] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

15:45 〜 16:00

[18p-B3-11] 機械学習ポテンシャルを用いたHfO2結晶のモデリングの検討

〇(D)糸矢 祐喜¹、小林 正治^1,2 (1.東大生研、2.東大d.lab)

キーワード：

強誘電体材料、シミュレーション

HfO₂系強誘電体は多結晶での実用化が想定されている。多結晶のような大きい系における分子動力学シミュレーションは計算量が多く困難である。そこで、計算が重いポテンシャル計算部分を機械学習により作成したエネルギーポテンシャル面に置き換えて計算を軽くする手法が提案されている。本研究では、Pickardらが提案したEphemeral Data Derived Potentialsを用いてモデリングを行い、学習パラメータとモデリング精度の関係を評価した。