[18p-B3-1~12] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

14:15 〜 14:30

[18p-B3-6] 強誘電性HfO₂の分極反転時間からみた分極反転機構の考察

〇鳥海 明¹、右田 真司² (1.自由業、2.産総研)

キーワード：

強誘電HfO2

強誘電性HfO₂において報告されている分極反転時間の電界依存性の実験結果から分極反転機構に関して議論する。