講演情報
[18p-B6-5]液晶性を用いた超高速ブレードコートによる結晶薄膜の形成とそのトラジスタ特性評価
〇(M2)鈴木 一世1、半那 純一1、飯野 裕明1 (1.東工大未来研)
キーワード:
有機半導体、ブレードコート、Ph-BTBT-10
液晶性有機半導体Ph-BTBT-10を超高速(140mm/s)のブレードコート法で製膜して多結晶薄膜を形成し、有機薄膜トランジスタを作製した。液晶薄膜を前駆状態とすることで、工業化で求められる超高速製膜においても、4.9±0.32 cm2/Vsの特性のばらつきが少ない高移動度トランジスタが実現でき、ブレードコート法を用いた有機トランジスタの工業化において液晶性の利用が非常に重要であると結論づけられる。
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